一. 術(shù)語(yǔ)及定義 1. 靜電： 物體表面過(guò)?；虿蛔愕撵o止的電荷 2. 靜電場(chǎng)：靜電在其周圍形成的電場(chǎng) 3．靜電放電：兩個(gè)具有不同靜電電位的物體，由于直接接觸或靜電場(chǎng)感應(yīng)引起兩物體間的靜電電荷的轉(zhuǎn)移。靜電電場(chǎng)的能量達(dá)到一定程度后，擊穿其間介質(zhì)而進(jìn)行放電的現(xiàn)象就是靜電放電。 4.靜電敏感度：元器件所能承受的靜電放電電壓 5.靜電敏感器件：對(duì)靜電放電敏感的器件 6.接地 ：電氣連接到能供給或接受大量電荷的物體，如大地，船等. 7中和： 利用異性電荷使靜電消失 8防靜電工作區(qū)：配備各種防靜電設(shè)備和器材，能限制靜電電位，具有明確的區(qū)域界限和專門標(biāo)記的適于從事靜電防護(hù)操作的工作場(chǎng)地。

       二、靜電的產(chǎn)生： 1.摩擦:在日常生活中，任何兩個(gè)不同材質(zhì)的物體接觸后再分離，即可產(chǎn)生靜電，而產(chǎn)生靜電的*普通方法，就是摩擦生電。材料的絕緣性越好，越容易是使用摩擦生電。另外，任何兩種不同物質(zhì)的物體接觸后再分離，也能產(chǎn)生靜電；。 2. 感應(yīng)： 針對(duì)導(dǎo)電材料而言，因電子能在它的表面自由流動(dòng)，如將其置于一電場(chǎng)中，由于同性相斥，異性相吸，正負(fù)離子就會(huì)轉(zhuǎn)移。 3. 傳導(dǎo)：針對(duì)導(dǎo)電材料而言，因電子能在它的表面自由流動(dòng)，如與帶電物體接觸，將發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移。

       三、靜電對(duì)電子工業(yè)的影響集成電路元器件的線路縮小，耐壓降低，線路面積減小，使得器件耐靜電沖擊能力的減弱，靜電電場(chǎng)（Static Electric Field）和靜電電流（ESDcurrent）成為這些高密度元器件的致命殺手。同時(shí)大量的塑料制品等高絕緣材料的普遍應(yīng)用，導(dǎo)致產(chǎn)生靜電的機(jī)會(huì)大增。日常生活中如走動(dòng)，空氣流動(dòng)，搬運(yùn)等都能產(chǎn)生靜電。人們一般認(rèn)為只有CMOS類的晶片才對(duì)靜電敏感，實(shí)際上，集成度高的元器件電路都很敏感。 A．靜電對(duì)電子元件的影響 A） 靜電吸附灰塵，改變線路間的阻抗，影響產(chǎn)品的功能與壽命。 B） 因電場(chǎng)或電流破壞元件的絕緣或?qū)w，使元件不能工作（完全破壞）。 C） 因瞬間的電場(chǎng)或電流產(chǎn)生的熱，元件受傷，仍能工作，壽命受損。 B、靜電損傷的特點(diǎn)： 1.隱蔽性人體不能直接感知靜電，除非發(fā)生靜電放電，但發(fā)生靜電放電，人體也不一定能有電擊的感覺(jué)。這是因?yàn)槿梭w感知的靜電放電電壓為2-3KV。 2.潛伏性有些電子元器件受到靜電損傷后性能沒(méi)有明顯的下降，但多次累加放電會(huì)給器件造成內(nèi)傷而形成隱患，而且增加了器件對(duì)靜電的敏感性。已產(chǎn)生的問(wèn)題并無(wú)任何方法可**。 3.隨機(jī)性電子元件什么情況下會(huì)遭受到靜電破壞呢？可以這么說(shuō)，從一個(gè)元件生產(chǎn)后一直到它損壞以前所有的過(guò)程都受到靜電的威脅，而這些靜電的產(chǎn)生也具有隨機(jī)性。由于靜電的產(chǎn)生和放電都是瞬間發(fā)生的，及難預(yù)測(cè)和防護(hù)。 4.復(fù)雜性靜電放電損傷分板工作，因電子產(chǎn)品的精細(xì)，微小的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)而費(fèi)時(shí)、費(fèi)事、費(fèi)錢，要求較復(fù)雜的技術(shù)往往需要使用掃描電鏡等精密儀器，即使如此有些靜電損傷現(xiàn)象也 難以與其他原因造成的損傷加以區(qū)別，使人誤把靜電損傷失效當(dāng)作其它失效，這是對(duì)靜電放電損害未充分認(rèn)識(shí)之前，常常歸咎于早期失效或情況不明的失效 ，從而不自覺(jué)的掩蓋了失效的真正原因。 5.嚴(yán)重性ESD問(wèn)題表面上看來(lái)只影響了制成品的用家，但實(shí)際上亦影響了各層次的制造商，如：保用費(fèi)、維修及公司的聲譽(yù)等等。

       四、ESD三種型式 1. 人體型式即指當(dāng)人體活動(dòng)時(shí)身體和衣服之間的摩擦產(chǎn)生摩擦電荷。當(dāng)人們手持ESD敏感的裝置而不先拽放電荷到地，摩擦電荷將會(huì)移向ESD敏感的裝置而造成損壞。 2．微電子器件帶電型式既指這些ESD敏感的裝置，尤其對(duì)朔料件，當(dāng)在自動(dòng)化生產(chǎn)過(guò)程中，會(huì)產(chǎn)生摩擦電荷，而這些摩擦電荷通過(guò)低電阻的線路非常迅速地瀉放到高度導(dǎo)電的牢固接地表面，因此造成損壞；或者通過(guò)感應(yīng)使ESD敏感的裝置的金屬部分帶電而造成損壞。 3．場(chǎng)感類型式即有強(qiáng)電場(chǎng)圍繞，這可能來(lái)之于塑性材料或人的衣服，會(huì)發(fā)生電子轉(zhuǎn)化跨過(guò)氧化層。若電位差超過(guò)氧化層的介電常數(shù)，側(cè)會(huì)產(chǎn)生電弧以破壞氧化層，其結(jié)果為短路。 4．其它還有：機(jī)器模式、場(chǎng)增強(qiáng)模型、人體金屬模型、電容耦合模型、懸浮器件模型。五、靜電防護(hù) 1. 接地接地就是直接將靜電過(guò)一條線的連接泄放到大地，這是防靜電措施中*直接*有效的，對(duì)于導(dǎo)體通常用接地的方法，如人工帶防靜電手腕帶及工作臺(tái)面接地等。接地通過(guò)以下方法實(shí)施： 1） 人體通過(guò)手腕帶接地。 2） 人體通過(guò)防靜電鞋（或鞋帶）和防靜電地板接地。 3） 工作臺(tái)面接地。 4） 測(cè)試儀器，工具夾，烙鐵接地。 5） 防靜電地板，地墊接地。 6） 防靜電轉(zhuǎn)運(yùn)車，箱，架盡可能接地。 7） 防靜電椅接地。 2. 靜電屏蔽 靜電敏感元件在儲(chǔ)存或運(yùn)輸過(guò)程中會(huì)暴露于有靜電的區(qū)域中，用靜電屏蔽的方法可削弱外界靜電對(duì)電子元件的影響，*通常的方法是用靜電屏蔽袋和防靜電周轉(zhuǎn)箱作為保護(hù)。另外防靜電衣對(duì)人體的衣服具有一定的屏蔽作用。 3. 離子中和 絕緣體往往是易產(chǎn)生靜電，對(duì)絕緣體靜電的消除，用接地方法是無(wú)效的，通常采用的方法是離子中和（部分采用屏蔽），即在工作環(huán)境中用離子風(fēng)機(jī)等，提供一等電位的工作區(qū)域。 因此在防靜電材料和防靜電設(shè)施中，均是按這三種方式派生出來(lái)的產(chǎn)品，可分為防靜電儀表，接地系統(tǒng)類防靜電產(chǎn)品，屏蔽類防靜電包裝，運(yùn)輸及儲(chǔ)存防靜電材料，中和類靜電消除設(shè)備，以及其它防靜電用品。 A.防靜電儀表 1.手腕帶/腳帶/防靜電鞋綜合檢測(cè)儀－用途：用于檢測(cè)手腕帶，腳帶，防靜電鞋是否符合要求。 2.測(cè)試腳帶 及防靜電鞋時(shí)，需增加一塊金屬板及儀表連接的導(dǎo)線。 3.除靜電離子風(fēng)機(jī)檢測(cè)儀－用途：定期對(duì)離子風(fēng)機(jī)平衡度和衰減時(shí)間進(jìn)行檢測(cè)及校驗(yàn)以確保離子風(fēng)機(jī)工作在**的指標(biāo)范圍。 4.靜電場(chǎng)探測(cè)儀－用途：測(cè)量靜電場(chǎng)以反映靜電的存在，以電壓形式讀數(shù)，用來(lái)測(cè)試環(huán)境的靜電強(qiáng)度。一般受環(huán)境影響和靜電瞬間特性，很難真實(shí)反映實(shí)際情況。 5.靜電屏蔽袋測(cè)試儀－用途：用于檢測(cè)靜電屏蔽袋的屏蔽效果。 6.表面電阻測(cè)量?jī)x－用途：用于測(cè)量材料表面電阻，體積電阻。 B.接地類防靜電產(chǎn)品 1.防靜電手腕帶：廣泛用于各種操作工位，手腕帶種類很多，建議一般采用配有1兆歐姆電阻的手腕帶，線長(zhǎng)應(yīng)留有一定余量。 2.防靜電手表：需要其它防靜電措施的補(bǔ)救（如：增設(shè)離子風(fēng)機(jī)，戴防靜電腳跟帶等）才能取得較好的防靜電效果。建議不要大量采用佩帶防靜電手表的方式。 3.防靜電腳帶/防靜電鞋：廠房使用防靜電地面后，應(yīng)配戴防靜電鞋帶或穿防靜電鞋，建議車間以穿防靜電鞋為主，可降低灰塵的引入。操作人員工再結(jié)合配帶防靜電手腕帶效果將會(huì)更佳。 4.防靜電臺(tái)墊：用于各工作臺(tái)表面的鋪設(shè)，各臺(tái)墊串上1兆歐電阻后與防靜電地可靠連接。 5. 防靜電地板：防靜電地板分為：PVC地板、聚胺脂地板、活動(dòng)地板。防靜電蠟和防靜電油漆：防靜電蠟可用于各種地板表面增加防靜電功能及使地板更加明亮干凈防靜電油漆可用于各種地板表面，也可涂于各種貨架，周轉(zhuǎn)箱等容器上。 C.屏蔽類防靜電包裝運(yùn)輸及儲(chǔ)存材料 1.防靜電周轉(zhuǎn)箱、防靜電元件盒：用于車間單板和部件的周轉(zhuǎn)，運(yùn)輸及儲(chǔ)存。 2.防靜電屏蔽袋：用于單板和部件的包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存，具有一定的防潮效果。 3.防靜電膠帶：用于各種包裝箱等 4.防靜電IC料條及IC托盤：用于生產(chǎn)車間IC元器件的儲(chǔ)存、搬運(yùn)。禁止在使用前，露天存放IC；或拆開(kāi)包裝運(yùn)輸。 5.防靜電貨架、手推車及工作臺(tái)：防靜電貨架、手推車廣泛用于電子裝配車間的單板、部件的周轉(zhuǎn)，搬運(yùn)等。防靜電貨架及工作臺(tái)要有防靜地連接，手推車上的防靜電墊應(yīng)有金屬鏈與防靜電地接觸 6.防靜電工作服工作鞋：在具有靜電敏感元器件，具有一定潔凈度要求的加工車間，一般應(yīng)嚴(yán)格要求員工穿戴防靜電工作服工作鞋 7.防靜電手指套：如操作工位員工需經(jīng)常手拿工件或靜電敏感元器件時(shí)，有必要戴防靜電手指套。 D.中和類設(shè)備離子風(fēng)機(jī)、風(fēng)槍六、 防靜電的一般工藝規(guī)程要求 A、防靜電的常規(guī)工藝規(guī)程要求： 1、 操作者必須戴有線防靜電手腕 2、 涉及到操作靜電敏感器件的桌臺(tái)面須采用防靜電臺(tái)墊 3、 ESD敏感型器件必須用靜電屏蔽與防靜電器具轉(zhuǎn)運(yùn)。 4、 準(zhǔn)備開(kāi)封、測(cè)試靜電敏感器件時(shí)必須在防靜電工作臺(tái)上進(jìn)行，有條件的可配用離子空氣發(fā)生器**空氣中的電荷 5、 組裝所用的焊接設(shè)備及成形工裝設(shè)備都必須接地，焊接工具使用內(nèi)熱式烙鐵，接地要良好，接地電阻要小 6、 電源供電系統(tǒng)要改裝用變壓器進(jìn)行隔離，地線要可靠，防止懸浮地線，接地電阻小于10歐姆 7、 產(chǎn)品測(cè)試時(shí)，在電源接通的情況下，不能隨意插拔器件，必須在關(guān)掉電源的情況下插拔。 8、 凡ESD敏感型器件不應(yīng)過(guò)早地拿出原封裝，要正確按操作，盡量不能摸ESD敏感型器件管腿。 9、 用波峰焊接時(shí)，焊料和傳遞系統(tǒng)必須接地。 B、在防靜電要求嚴(yán)格的場(chǎng)合，下列防靜電工藝要求也是常常需要的。 1、凡ESD敏感型整機(jī)進(jìn)行高低溫試驗(yàn)或老化試驗(yàn)時(shí)，必須先對(duì)工作場(chǎng)地及高低溫箱進(jìn)行靜電位測(cè)試，其電位不能超過(guò)**值，否則，要進(jìn)行靜電消除處理。 2、焊接好的印制電路板要作三防處理時(shí)，也要采用防靜電措施。不要用一般的刷光，超聲波清洗或噴洗。 3、調(diào)試、測(cè)量、檢驗(yàn)時(shí)所用的低阻儀器、設(shè)備（如訊號(hào)、電橋等）應(yīng)在ESD敏感型器件接上電源后，方可接到ESD敏感型器件的輸入端。 4、在ESD敏感型 測(cè)試儀器生產(chǎn)線上，應(yīng)嚴(yán)格使用靜電電位測(cè)試監(jiān)視靜電電位的變化情況，以便及時(shí)采取靜電消除措施。